关 键 字: 韩一镀膜机,光驰1550镀膜机,龙翩1650真空镀膜机 | |
产品规格: | |
所属行业: 网站优化 | 产品包装: 安全包装 |
供货数量: 10 | 产品报价: 200 |
发布时间: 2023-02-14 | 有 效 期: 365 |
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韩一HVC-1600DA | ||
MODEL | HVC-1600DA | |
EB(电子) | 1GUN,,韩一 12穴 | |
离子源 | 韩一,(霍尔) | |
机械泵 | 爱德华EM275 | |
罗茨泵 | 爱德华EM2600 | |
深冷 | 韩国V-PLUS1000H | |
晶控 | XTC/3S + 单探头 | |
加热方式 | 下加热卤灯 |
光驰OTFC1300 | ||
型号 | OTFC1300C | |
序列号 | S0019 | |
电子(双电子有) | JST-10F-2GUN | |
坩埚点数 | 24点+28点 | |
旋转泵 | ||
机械升压泵 | EH500 | |
冷泵 | 冷冻U20P*2台 | |
冷冻泵/阻蒸 | 无 | |
离子源(射频离子源) | 有 | |
光学观测(光控&精控) | 有 | |
基板加热heater | 有 | |
回转 | 中心回转 |
*龙翩机1400 | ||
配置表 | ||
机械泵 | 美国凯尼真空泵 | |
罗茨泵 | 德国普发罗茨泵2000A | |
电子 | 日本SMATECH10KW 8 | |
深冷 | 美国POLYCOLD | |
离子源 | 美国KRI考夫曼离子源 | |
加热系统 | 上烘烤电加热丝 | |
气体流量 | 三路美国布鲁克斯流量计 | |
晶控膜厚仪 | 美国英福康SQM-160单探头 | |
光控 | 透射光控 | 有阻蒸 |
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